小抽速愛德華螺桿泵真空泵IX80/160，螺桿真空泵IX系列產(chǎn)品是抽氣量很小的螺桿系列產(chǎn)品，一般是在半導(dǎo)體實驗室使，，真空泵配件，和真空泵維修，Edwards 高級半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明，可以按照高工作標(biāo)準(zhǔn)運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率，同時地減小占地面積、降低運行成本，實現(xiàn)了高的可靠性和性能。